Нет уж, увольте меня еще и от измерения линейности ШИМ

В полученных данных нет корреляции дифф-нелинейности от значений ШИМ. Значения ШИМ (грубый:точный) есть в таблице. Единственное, что может быть - это нелинейность при узких импульсах из-за нечеткого фронта/спада. Но я как раз не использую узкие импульсы для точного ШИМ (там диапазон от 76 до 176), а в точном ШИМ есть узкие импульсы в начале (от нуля) , но даже при них не заметно какой-то нелинейности).
Короче - если что-то и есть, то в самом начале, при узких импульсах грубого ШИМ.